LithoBench-PDE:基于偏微分方程的计算光刻基准数据集

许可证: 见LICENSE文件 · 更新于 2026-09-28
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来源:https://huggingface.co/AISDL-SNU/LithoBench-PDE

面向计算光刻仿真的偏微分方程学习基准,包含光掩模三维参考仿真及中间场数据。

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