面向半导体制造的物理信息生成式AI：通过构造方式强制执行硬物理约束

来源：http://arxiv.org/abs/2606.11247v1

提出在半导体制造生成式AI中通过构造方式强制执行硬物理约束的方法，确保生成的掩模、布局和工艺配方严格遵循光刻、输运、反应及器件物理限制。